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Messtechnik Prüfgeräte und sonstige Messtechnik Seite 45 von 60

3.3.3 Sonstige

Präzisions-Lineartisch

Hersteller: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

• 8", DC-Motor-Direktantrieb

• 0,1 µm Linearencoder, Bremse

• M-521.DBX

Zubehör: • Netzteil „M-500 PS“

• Netzkabel, serielles Kabel

Dokumentation: User´s Manual

Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/index.php?id=3343

Inventarnummer: MT-00192, MT-00193, MT-00194

Halbautomatischer Waferprober R&K

• mit EEC&S 8 Inch Chuck inl.

• Steuergerät

• Mikroskop

• Netzteil f. Mikroskop

• Vakuum Pumpe

• Prober Tisch

• Schwingungsgedämpft

Zubehör: 3 St. Interface Kabel

Dokumentation: Handbuch

Inventarnummer: MT-00248

Inker XANDER 1412

• pneumatisch, daher mit Druckluft betrieben

• einstellbare Inkpunktgröße (15-50mil)

• Tinte schwarz

• programmierbarer Inkpunktzähler

• steuerbar über Fußschalten

• präzise Positionierung (X = +/- 0.125’’; Y = +/- 0.19’’; Z

= +/- 0.11’’)

• geeignet zum Inken temperierter Wafer (100°C)

• nach oben schwenkbarer Inkarm

Zubehör: • Controller,

• Inker mit Inker-Shuttle,

• Druckregler, Pneumatikschlauch,

• Netzkabel, Handbuch

Inventarnummer: MT-00249

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