
Technologische Anlagen Anlagen Wafertechnologie Seite 60 von 60
Hdt/Wa
05.11.2007
Einschweißgerät
Hersteller: automation technology Inc.
Transportverpacken für FOSB
Inventarnummer: TA-00031
MES Hardware
• Logistische Steuerung, Handling und Unterstützung vom
Scheibenein- bis zum -ausgang.
General Functionality
• Wafer Information Management
• Wafer Carrier Information Management
• Process and Resource Management
• Quality Management
Inventarnummer: HW-00216
MES-Software
Inventarnummer: SW-00053
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