Wavetek MS1000 Bedienungsanleitung Seite 58

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Technologische Anlagen Anlagen Wafertechnologie Seite 58 von 60
4.3 Anlagen Wafertechnologie
Ätzbank
Hersteller: Equidec GmbH
automatische Anlage
Ätzen von Siliziumscheiben
Schnittstellen für Steuerung und Datenaustausch
automatische Ansteuerung und Überwachung mittels
SPS
Bedienpult mit grafischer Darstellung
grafische Steuerung und Überwachung der Anlage über
ein Ethernet (TCP/IP); E-mail-Versendung bei Störungen
der Anlage
Rezeptmanagement und weitere Funktionen über Inter-
net/Intranet möglich
Reinigungsbank
Hersteller: Equidec GmbH
Dunkelkammer
Hersteller: Equidec GmbH
Inspektionskammer für 300 mm Siliziumscheiben
Ionisatoren AEROBAR NILSTAT mit Kontrolleinheit
Hersteller: Ion Systems
Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/index.php?id=3343
Inventarnummer: TA-00032
CMP nTREPID
Hersteller: Strasbaugh
“Haze Free Polishing” von 300 mm Siliziumscheiben
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